南京市江北新区研创园激光芯片公共技术服务平台-南京九鼎品质科技有限公司

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南京市江北新区研创园激光芯片公共技术服务平台

时间：2022-02-24

研创园激光芯片公公技术服务平台位于南京市浦口区西华北路1 号，项目建筑面积6309.79m2，其中万级区1535m2，千级区 1134m2，百级区21m2。配电房、机组间、特气间、纯水间、废水间等辅助功能间3234m2。合同额3299万，工期100天。项目包含：洁净系统、消防、PCW、CDA、PV、有机排风、无机排风、热排风、纯水系统、废水系统、冷热源系统、DCC系统、弱电系统。

万级区采用的是AHU+高效箱的方式，温湿度要求为：22±1℃，50±5%RH。

千级区采用的是MAU+DCC+FFU的方式，温湿度要求为：22±0.5℃，45±3%RH，光刻间温湿度要求为：22±0.5℃，

40±3%RH，每小时变化率不高于±0.1℃。

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